熱門關(guān)鍵詞: 除泡烤箱 真空壓力烤箱 脫泡機(jī) 真空壓膜機(jī) 晶圓平坦化設(shè)備
除泡機(jī)的新型真空壓力控制系統(tǒng)主要包括高壓氣源、電動調(diào)節(jié)閥、真空壓力傳感器、雙向控制器和真空泵等,其真空壓力控制基于動態(tài)平衡法,即通過調(diào)節(jié)進(jìn)入和流出除泡烤箱的氣體流量實(shí)現(xiàn)真空和壓力的準(zhǔn)確控制。當(dāng)進(jìn)行真空控制時,自動減小進(jìn)氣調(diào)節(jié)閥開度但增大出氣調(diào)節(jié)閥開度;當(dāng)進(jìn)行壓力控制時,自動增大進(jìn)氣調(diào)節(jié)閥開度但減小出氣調(diào)節(jié)閥開度。由此可實(shí)現(xiàn)真空壓力的全量程自動平滑控制。
此新型的除泡機(jī)真空壓力控制系統(tǒng)主要有以下功能和特點(diǎn):
(1)采用通徑為10mm的快速電動球閥,工作壓力1MPa以下,極小的真空漏率,開關(guān)速度小于7秒,0~10V模擬控制信號,這樣既可以快速抽取真空和加載高壓氣體,又能進(jìn)行快速調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)真空壓力的穩(wěn)定控制。
(2)采用了真空和壓力雙傳感器,可以覆蓋真空壓力的全量程測量和控制。
(3)采用具有分程控制功能的雙向PID控制器實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣和出氣閥門的同時調(diào)節(jié),可在真空壓力全量程范圍內(nèi)進(jìn)行自動控制。
(4)PID控制器具有雙傳感器自動切換功能,可根據(jù)控制要求自動選擇相應(yīng)的傳感器。
(5)PID控制器具有可編程功能,可支持20條工藝曲線??刂破骶哂蠵ID參數(shù)自整定功能,支持20組分組PID參數(shù)。
(6)PID控制器具有RS485通訊接口和標(biāo)準(zhǔn)的MODBUS協(xié)議,可與上位機(jī)連接。自帶的控制軟件可直接運(yùn)行控制器,并設(shè)置、數(shù)字顯示、曲線顯示和存儲控制器參數(shù)的變化過程。
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